前工程で作成された半導体チップを良品か不良品かを判定する工程をプロービングと呼びます。

基本的には電気的特性を測定することを目的としており、電気の流れる針が刺さったプローブカードという部品が先端にくっついています。身近なものだと、生け花をするときの剣山みたいな形をしています。

このプローブカードの針を半導体チップのパッドと呼ばれる針を立てる穴に差し込んで、一定の信号を入力します。そして半導体チップが出力するはずの正しい信号と実際に出力した信号を比較することによって、良品/不良品判定を行います。

プローブカードはX-Y座標に精度よく移動したのちに、Z方向にセンシティブに移動させてパッドに接触させる必要があるため、非常に精密な制御が求められます。

プロービング装置を手掛ける主要メーカー

• アドバンテスト

• テラダイン

• KLA

参考文献