半導体製造プロセスにおいて、膨大な種類と量のＣＭＲ物質を使用している。

ＣＭＲ物質は慢性的な発ガン性、変異原性、及び生殖毒性があり、健康に非常に深刻な影響を与える物質のことである。

発ガン性物質とはガンを誘発し、発生率を高める物質または混合物のことであり、変異原性物質はＤＮＡの損傷、染色体異常のような遺伝毒性のうち、娘細胞（細胞分裂後に生じる細胞）や次世代の個体に変化が伝わる毒性のある物質である。

そして、生殖毒性とは、男女の性機能及び生殖機能に悪影響を及ぼしたり、子孫に発生・成長への影響を与える毒性を発現させたり、授乳を介して子に影響を与えたりする物質のことである。

具体的には、ガン、不妊、流産、奇形胎児、発育不全の原因となる物質の総称である。

２０２０年の企業社会責任レポート（ＣＳＲ）によると、ＴＳＭＣの製造現場で使用される物質の化学分析を行ったところ、１７８のＣＭＲ物質の使用が認められたという。

台湾の既存の半導体企業が申告したデータによると、工場から排出、及び放流された危険物質は、発がん性物質が２５種、非発ガン物質が５３種と申告され、評価対象となっている。つまり、ＴＳＭＣのＣＭＲ物質の使用は他企業と比較しても多い。

ＴＳＭＣのこのデータは、回路線幅が３nm のチップの製造のものであるが、熊本のＪＡＳＭで製造される１０－２０nm 台のチップ、さらには第二工場で生産予定の５－１０nm 半導体や、その他の拡張計画がある場合はその都度、使用されるＣＭＲ物質の化学解析もしっかりと行い公表されるべきだろう。

ただ、日本の場合、恐ろしいことに、たとえＣＭＲ物質が開示されたとしても法の整備が不十分であり、規制が難しい。

ＣＭＲ物質は、化審法（化学物質の審査及び規制に関する法律）によって規制されているが、新規輸入・製造の際に届出されたものに対する審査のみであり、実際に工場からどれだけのＣＭＲ物質が排出されているのかは、調査されない。

https://esg.tsmc.com/download/file/2020-csr-report/english/pdf/e-all.pdf