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[半導体関連材料]ナノひっつき虫について
半導体関連材料・素材メーカーで地味に話題にあがっています「ナノひっつき虫」に関する話です。
キーワード: 選択的吸着・エッチング・保護材
査読なしの方については無料で読めます。
https://papers.ssrn.com/sol3/papers.cfm?abstract_id=4340470
ナノひっつき虫「ナノひっつき虫」は株式会社ダイセルが開発した窒化珪素膜への選択的吸着材です。性質の
半導体関連材料・素材メーカーで地味に話題にあがっています「ナノひっつき虫」に関する話です。
キーワード: 選択的吸着・エッチング・保護材
査読なしの方については無料で読めます。
https://papers.ssrn.com/sol3/papers.cfm?abstract_id=4340470
ナノひっつき虫「ナノひっつき虫」は株式会社ダイセルが開発した窒化珪素膜への選択的吸着材です。性質の